モノクロロシラン (SiH3Cl)

SiH3Cl(MCS)は、半導体およびディスプレイの工程用として使用されるプリカーサの原材料です。

SPECIFICATION

Unit : %
SiH3Cl N2 SiH4 SiH2Cl2 SiHCl3 SiCl4 HCl
98.0 0.1 1.5 0.1 0.1 0.1 0.1
SiH3Cl SPECIFICATIO
Purity SiH3Cl 98.0
Impurity N2 0.1
SiH4 1.5
SiH2Cl2 0.1
SiHCl3 0.1
SiCl4 0.1
HCl 0.1

CYLINDERS INFORMATION

TYPE MATERIAL FILLING WEIGHT VALVE CONNECTION TYPE
47L Mn Steel, Cr-Mo Steel 26 kg CGA/DISS636 etc.
47L SPECIFICATIO
MATERIAL Mn Steel, Cr-Mo Steel
FILLING WEIGHT 26 kg
VALVE CONNECTION TYPE CGA/DISS636 etc.