SK ecoplant materials

SKマテリアルズエアプラスは、空気分離装置（Air Separation Unit、ASU）による高純度産業ガスの生産及びサプライチェーンの構築をきばんとして、産業全般のさまざまな需要に対応できる安定した供給ソリューションを提供します。

供給形態

お客様の事業規模や条件などに応じてOff-site、On-site、Bulk（タンクローリー運送）による供給が可能です。

• 大規模産業団地近くの汎用供給網を構築、多くの顧客会社向けに供給
• 特定の顧客会社近くの敷地から専用の供給配管を構築して供給
• 独立した電力需給及び運営
• GN₂（気体窒素）, GO₂（気体酸素）, CDA（Clean Dry Air）など

• ASUにより分離生産された気体を貯蔵タンクに液化貯蔵した後、製品として販売
• 電力供給は顧客会社が負担

• ASU：極低温空気分離方式、大規模需要に適合（10,000Nm3/hr～）
  PSA：吸着方式、中小型の需要先に適合（～10,000Nm3/hr）

• ASUにより分離生産された気体を貯蔵タンクに液化貯蔵した後、製品として販売
• 顧客会社敷地内に貯蔵タンクと供給設備を構築した後、自社タンクローリーで直接運んで供給（各種製造業プラント向け）
• 需要先への直運送による工場渡し販売（充填所、販売店などの卸売・小売流通網）
• LN₂（液体窒素）, LO₂（液体酸素）, LAr（液体アルゴン）など

生産工程

SKマテリアルズエアプラスの空気分離装置（Air Separation Unit、ASU）により生産される高純度の一般産業ガスは、製造業のユーティリティ用として幅広く活用されています。

窒素
N₂

特性

• 大気組成の約78％を占める。
• -196℃の沸点から分離。
• 不活性、不燃性、無色、無味、無臭

用途

• 不活性雰囲気ガス
  • - 半導体、LCD、太陽光セルの製造工程
• シーリング、パージ及びコールドテスト用のガス
  • - 化学プラント、配管、タンク
• 急速冷凍
  • - 食品、医療

酸素
O₂

特性

• 大気の約21％を占める。
• -183℃の沸点から分離。
• 不活性、強い支燃性

用途

• 溶解炉、金属加工
  • - 製鉄、製鋼、金属製錬、溶接、切断
• 酸化
  • - 半導体素材、石油化学、廃水処理
• その他
  • - 食品・発酵、呼吸用医療機器

アルゴン
Ar

特性

• 大気の約0.9％を占める。
• -186℃の沸点から分離。
• （高温・高圧でも）不燃性、不活性

用途

• 高温環境での雰囲気ガス
  • - 半導体集積回路の製造
  • - プラズマチャンバー、プラズマ切断
  • - 特殊鋼の製錬
  • - 炭素繊維、粉末金属の製造

CDA
 

特性

• Clean Dry Air
• 圧縮空気中のホコリ、油分、水分などの汚染物質をシステムや機器の使用目的・性質・機能に適した要求基準値内に収まるように取り除き、最適な状態にして提供する。

用途

• 半導体生産装備にN2と共に最も多く使用され、生産装備のオートエアバルブや転送装置、その他空圧機器の自動動作に利用される。

CO₂
 

特性

• 不活性、不燃性、無色、無臭、水溶性
• 有機物の燃焼気体から回収、またはアルコール発酵時の副産物として生産

用途

• 半導体ウェーハ及び設備の洗浄
  • - 超臨界流体洗浄法
• 製鋼、溶接
• 飲食料品及び冷却輸送用

H₂
 

特性

• 無色、無臭、可燃性
• 高温での高い還元性
• -253℃の沸点
• 高圧チューブにガスとして貯蔵されて供給

用途

• 半導体ウェーハ及びチップの製造工程
• ガラス製品及び光ファイバーの加工
• 化学工業／金属熱処理還元剤
• ロケット燃料／車両代替エネルギー