洗浄用ガス
グローバルNo.1韓国初、世界最高の三フッ化窒素を生産 2001年に韓国で初めて三フッ化窒素（NF3）の国産化に成功し、独自技術の開発と積極的な増設投資により、顧客に最高品質の三フッ化窒素を安定的に供給しています。
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三フッ化窒素NF3
NF3は半導体、ディスプレイ及び太陽電池の製造工程で使用され、CVD工程後にチャンバー 内の残留物を取り除く洗浄用途に使用されます。
NF3は半導体、ディスプレイ及び太陽電池の製造工程で使用され、CVD工程後にチャンバー 内の残留物を取り除く洗浄用途に使用されます。