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모노클로로실란 (SiH3Cl)

SiH3Cl(MCS)는 반도체 및 디스플레이 공정용으로 사용되는 Precursor의 원재료입니다.

SPECIFICATION

Unit : %
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 SiH3Cl, N2, SiH4, SiH2Cl2, SiHCl3, SiCl4, HCl로 구성되어 있습니다.
SiH3Cl N2 SiH4 SiH2Cl2 SiHCl3 SiCl4 HCl
98.0 0.1 1.5 0.1 0.1 0.1 0.1
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 SiH3Cl, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
SiH3Cl SPECIFICATIO
Purity SiH3Cl 98.0
Impurity N2 0.1
SiH4 1.5
SiH2Cl2 0.1
SiHCl3 0.1
SiCl4 0.1
HCl 0.1

CYLINDERS INFORMATION

CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 TYPE, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE로 구성되어 있습니다.
TYPE MATERIAL FILLING WEIGHT VALVE CONNECTION TYPE
47L Mn Steel, Cr-Mo Steel 26 kg CGA/DISS636 etc.
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 47L, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
47L SPECIFICATIO
MATERIAL Mn Steel, Cr-Mo Steel
FILLING WEIGHT 26 kg
VALVE CONNECTION TYPE CGA/DISS636 etc.