SPECIFICATION
Unit : ppmv
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 Si2H6, O2+Ar, N2, CO2, CH4, SiH4, Si3H8, Si4H10, Chlorosilane, Siloxane, H20로 구성되어 있습니다.
Si2H6 |
O2+Ar |
N2 |
CO2 |
CH4 |
SiH4 |
Si3H8 |
Si4H10 |
Chlorosilane |
Siloxane |
H20 |
99.99% [Excluded SiH4, Si3H8, Si4H10] |
1.0 |
2.0 |
1.0 |
1.0 |
500 |
50 |
50 |
0.2 |
3.0 |
1.0 |
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 Si2H6, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
Si2H6 |
SPECIFICATIO |
Purity |
Si2H6 |
99.99% [Excluded SiH4, Si3H8, Si4H10] |
Impurity |
O2+Ar |
< 1.0 |
N2 |
< 2.0 |
CO2 |
< 1.0 |
CH4 |
< 1.0 |
SiH4 |
< 500 |
Si3H8 |
< 50 |
Si4H10 |
< 50 |
Chlorosilane |
< 0.2 |
Siloxane |
< 3.0 |
H2O |
< 1.0 |