디실란 (Si2H6)
Si2H6는 반도체 미세화 공정에 사용되는 가스로서, 박막 증착 시 저온에서 고속으로
균일한 막질을 형성하기 위한 용도로 사용됩니다.
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INDIVIDUAL
SPECIFICATION
Unit : ppmv| Si2H6 | O2+Ar | N2 | CO2 | CH4 | SiH4 | Si3H8 | Si4H10 | Chlorosilane | Siloxane | H20 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 99.99% [Excluded SiH4, Si3H8, Si4H10] |
1.0 | 2.0 | 1.0 | 1.0 | 500 | 50 | 50 | 0.2 | 3.0 | 1.0 |
| Si2H6 | SPECIFICATIO | |
|---|---|---|
| Purity | Si2H6 | 99.99% [Excluded SiH4, Si3H8, Si4H10] |
| Impurity | O2+Ar | 1.0 |
| N2 | 2.0 | |
| CO2 | 1.0 | |
| CH4 | 1.0 | |
| SiH4 | 500 | |
| Si3H8 | 50 | |
| Si4H10 | 50 | |
| Chlorosilane | 0.2 | |
| Siloxane | 3.0 | |
| H2O | 1.0 | |
CYLINDERS INFORMATION
| TYPE | MATERIAL | FILLING WEIGHT | VALVE CONNECTION TYPE |
|---|---|---|---|
| 47L | Cr-Mo Steel, Mn Steel | 3 / 10 / 12 kg | JIS-22-14L, CGA/DISS 632 etc. |
| 47L | SPECIFICATIO |
|---|---|
| MATERIAL | Cr-Mo Steel, Mn Steel |
| FILLING WEIGHT | 3 / 10 / 12 kg |
| VALVE CONNECTION TYPE | JIS-22-14L, CGA/DISS 632 etc. |
