기타 제품
SiH3Cl (Mono Chlorosilane)모노클로로실란
SiH3Cl(MCS)는 반도체 및 디스플레이 공정용으로 사용되는 Precursor의 원재료입니다.
SPECIFICATION
Unit : %SiH3Cl | SiH2Cl2 | SiH4 | N2 |
---|---|---|---|
98% | 0.03 | 2 | 0.1 |
CYLINDER INFORMATION
CYLINDER INFORMATION | MATERIAL | VALVE CONNECTION TYPE | FILLING WEIGHT |
---|---|---|---|
Individual Cylinder | Mn Steel, Cr-Mo Steel | CGA/DISS636 | 26 |
He (Helium)헬륨
Helium은 대표적인 불활성 Gas로 산업 전반에서 필요로 하며, Carrier Gas, Purge Gas, Cooling 및 Leak Check, 분위기 가스 등 여러 가지 분야에서 널리 사용됩니다.
Unit : ppmPurity | O2 | H2O | N2 | THC | CO | CO2 | Ne | Ar |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
≥ 99.9995 % | < 1.0 | < 0.5 | < 1.0 | < 0.1 | < 0.1 | < 0.1 | < 0.5 | < 0.5 |
He | SPECIFICATIO | |
---|---|---|
Purity | He | ≥ 99.9995 % |
Impurity (ppm) |
O2 | < 1.0 |
H2O | < 0.5 | |
N2 | < 1.0 | |
THC | < 0.1 | |
CO | < 0.1 | |
CO2 | < 0.1 | |
Ne | < 0.5 | |
Ar | < 0.5 |
SiCl4 (Silicon Tetrachloride)사염화규소
Polysilicon Wafer 제조시 Si Powder와 같이 사용되는 가스이며, 반도체 공정에서도 Deposition 및 Etch Gas로 사용됩니다.
Unit : ppm
Purity | N2 | O2 | CO2 | HCI |
---|---|---|---|---|
≥ 99.9999 % | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 |
Unit : ppb
Na | Fe | Ni | Mn | Cr | Cu | Zn | Al | Ca | Co |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
< 1.0 | < 4.0 | < 4.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 5.0 | < 1.0 | < 5.0 | < 2.0 | < 8.0 |
Unit : ppm, ppb
SiCl4 | SPECIFICATIO | |
---|---|---|
Purity | SiCl4 | ≥ 99.9999 % |
Impurity (ppm) |
N2 | < 1.0 |
O2 | < 1.0 | |
CO2 | < 1.0 | |
HCI | < 1.0 | |
Impurity (ppb) |
Na | < 1.0 |
Fe | < 4.0 | |
Ni | < 4.0 | |
Mn | < 1.0 | |
Cr | < 1.0 | |
Cu | < 5.0 | |
Zn | < 1.0 | |
Al | < 5.0 | |
Ca | < 2.0 | |
Co | < 8.0 |
Xe (Xenon)제논
Xenon은 비활성, 무색, 무취의 기체이며, 공기 분리로 얻을 수 있습니다.
디스플레이, 반도체, 의료용 등 Laser 발진용으로 다른 가스와 혼합되어 널리 사용되며, 최근에는 점점 사용처가 늘어나고 있는 추세입니다.
Purity | Kr | O2 | N2 | CO2 | CH4 | CF4 | C2F6 | SF6 | NO2 | H2O |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
≥ 99.9999 % | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 | < 1.0 |
Xe | SPECIFICATIO | |
---|---|---|
Purity | Xe | ≥ 99.9999 % |
Impurity (ppm) |
Kr | < 1.0 |
O2 | < 1.0 | |
N2 | < 1.0 | |
CO2 | < 1.0 | |
CH4 | < 1.0 | |
CF4 | < 1.0 | |
C2F6 | < 1.0 | |
SF6 | < 1.0 | |
NO2 | < 1.0 | |
H2O | < 1.0 |