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디클로로실란 (SiH2Cl2)

SiH2Cl2는 반도체 제조공정에서 질화막(SixNy) 증착시 사용됩니다.

SPECIFICATION

Unit : ppmv
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 SiH2Cl2, O2+Ar, N2, CO, CO2, CH4, H2, SiH3Cl, SiHCl3, SiCl4로 구성되어 있습니다.
SiH2Cl2 O2+Ar N2 CO CO2 CH4 H2 SiH3Cl SiHCl3 SiCl4
99.9% 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0 10.0 100 100 100
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 SiH2Cl2, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
SiH2Cl2 SPECIFICATIO
Purity SiH2Cl2 99.9%
Impurity
(ppmv)
O2+Ar < 1.0
N2 < 1.0
CO < 1.0
CO2 < 1.0
CH4 < 1.0
H2 < 10.0
SiH3Cl < 100
SiHCl3 < 100
SiCl4 < 100

CYLINDERS INFORMATION

CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 TYPE, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE로 구성되어 있습니다.
TYPE MATERIAL FILLING WEIGHT VALVE CONNECTION TYPE
40L SUS 316L 35~40 kg JIS 22L, CGA/DISS636 etc.
10L 8.5~10kg
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 CYLINDERS INFORMATION, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE로 구성되어 있습니다.
CYLINDERS INFORMATION SPECIFICATIO
MATERIAL SUS 316L
FILLING WEIGHT 8.5~10(10Li) / 35~40(40Li) kg
VALVE CONNECTION TYPE JIS 22L, DISS 636 etc.
사용용도 알아보기 - 웨이퍼 → 제품투입 (웨이퍼, 챔버, 히터) → 공정 진행 (공정가스) 자세히 보기 - 반도체 (Dielectric) SiH2Cl2:Spacer - 반도체 제조공정에서 질화막(SixNy) 증착시 사용됩니다. → 제품 반출 → 반도체 (웨이퍼)